我国科研团队完成一种新型光刻胶技术初步验证
发布时间：2024-04-03
信息来源：科技日报
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日前，华中科技大学与湖北九峰山实验室组成联合研究团队，突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。相关成果发表在《化学工程杂志》上。据介绍，这一具有自主知识产权的光刻胶体系已在生产线上完成了初步工艺验证，并同步完成了各项技术指标的检测优化，实现了从技术开发到成果转化全链条打通。（科技日报）
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